太阳能集热管是如何镀膜的原理好像是磁控溅射,想问问磁控溅射可以给玻璃管这样的柱状物镀膜吗?貌似一般是平板基片的.镀模是如何实现的呢?

来源：学生作业帮助网编辑：作业帮时间：2024/05/07 20:38:36

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太阳能集热管是如何镀膜的
原理好像是磁控溅射,想问问磁控溅射可以给玻璃管这样的柱状物镀膜吗?貌似一般是平板基片的.镀模是如何实现的呢?

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目前,我国制作真空集热管普遍采用的仍然是多层铝-氮/铝太阳选择性吸收涂层制造技术.这一技术是清华大学殷志强教授和他的同事们于1984年发明,1985年申报国家专利,1987年获得批准的（专利号：ZL851001424）.
这一技术的基本原理是在镀膜机内,设置单圆柱铝靶的磁控溅射系统.镀膜机内一次装载数十只作为集热管内管的玻璃管,在“行星”机构传动下,玻璃管做公转与自转.立式圆柱铝靶在中心位置,在氩气中非反应溅射沉积铝底层,再注入流量可控的氮气,制备多层铝—氮复合薄膜材料作为吸收层.
这一被称为渐变铝-氮、铝太阳选择性吸收涂层的制造技术,其太阳吸收比可达0.93,发射比约0.05（80℃）.这是世界上第一次只采用一种金属材料,既制备金属底层又制备复合薄膜材料的选择性吸收涂层.清华阳光公司利用此项技术生产的晒乐牌紫金系列真空集热管,经国家轻工业玻璃产品质量监督检测中心检测,其太阳吸收比α=0.95（AM1.5）；半球发射比εh= 0.050（80℃±5℃）.

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