PECVD镀膜机一般抽到多少真空度

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 13:16:50
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一般抽到5*10-4充氮气洗一遍再充氮气洗一遍,一共洗两遍,然后再用氢气洗,之后就是成膜工艺气体配比充.

1.0*10-3Pa