作业帮【求助】四氯化硅如何变成三氯氢硅?
来源：学生作业帮助网 编辑：作业帮 时间：2024/04/29 13:31:10
【求助】四氯化硅如何变成三氯氢硅?
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:D51zhuce(站内联系TA):您说的冷氢化能在详细些吗?szp666(站内联系TA)热氢化：H2+SICL4=HSICL3+HCL
氯氢化：SICL4+H2+SI+HCL=HSICL3
TCS合成：HCL+SI=HSICL3+H2
冷氢化:SICL4+H2+SI=HSICL3
冷氢化主要有两种：一种是STC+SI+HCL;一种是：STC+SI+H2;从反应的原理来讲,第二种更合理一些；第一种主要是消耗一部分的HCL,但是对STC的消耗并不是很明显.第二种方法可以将STC的一次转化率达到20％－25％；大大降低生产成本.目前国内有些多晶硅企业开始尝试,但没有进入实际施工阶段,国内有识之士应该早日把这项技术消化利用起来,为我国的多晶硅行业的发展打开道路.szp666(站内联系TA)经氯硅烷分离提纯工序精制的四氯化硅,送入本工序的四氯化硅汽化器,被热水加热汽化.从氢气制备与净化工序送来的氢气和从还原尾气干法分离工序来的多余氢气在氢气缓冲罐混合后,也通入汽化器内,与四氯化硅蒸汽形成一定比例的混合气体.从四氯化硅汽化器来的四氯化硅与氢气的混合气体,送入氢化炉内.在氢化炉内通电的炽热电极表面附近,发生四氯化硅的氢化反应,生成三氯氢硅,同时生成氯化氢.出氢化炉的含有三氯氢硅、氯化氢和未反应的四氯化硅、氢气的混合气体,送往氢化气干法分离工序.氢化炉的炉筒夹套通入热水,以移除炉内炽热电极向炉筒内壁辐射的热量,维持炉筒内壁的温度.出炉筒夹套的高温热水送往热能回收工序,经废热锅炉生产水蒸汽而降温后,循环回本工序各氢化炉夹套使用.